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线切割单晶硅表面损伤的研究--《材料科学与工程》年期切割表面损伤硅收藏线切割单晶硅表面损伤的研究摘要:利用台阶仪、扫描电镜。吴东江;曹先锁;强国;奔;高航;康仁科;;KDP晶体加工表面的亚表面损伤检测与分析。

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电火花线切割单晶硅的损伤层--《硅酸盐学报》年期电火花线切割单晶硅的损伤层摘要:采用截面显微观察法和择优蚀刻法对电火花线切割单晶硅产生的亚表面损伤层进行检测。用光学显微镜观测和分析电火花线切割硅表面。

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